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超净实验室

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产品描述

超净间介绍

超净间(clean room),亦称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间赢钱棋牌游戏平台称之为「超净间」。

超净间管控项目:

1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子之产生。

3. 温度和湿度之控制。

4. 压力之调节。

5. 有害气体之排除。

6. 结构物与隔间之气密性。

7. 静电之防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 安全因素之考虑。

10. 节能之考量。

超净间分类

乱流式(turbulent flow)

空气由空调箱经风管与超净jianneizhi空气过滤器(hepa)进入超净间,并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡liuzhuangtai。此型式适用于超净间等级1,000-100,000级。

优点:构造简单、系统建造成本,超净间之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高超净间等级。

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

层流式(laminar)

层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于超净间等级需定较高之环境使用,一般其超净间等级为class 1~100。其型式可分为二种:

(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

(2)垂直层流式:房间天花板完全以ulpa过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生dechenai可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点:guanlirong易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架xiangdangzhan空间,维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式(mixed type)

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ulsi制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

(3)并装局部超净间(clean spot):将超净间等级10,000~100,000之乱流超净间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净工作台:等级class 1~100级。

洁净工作棚:为在乱流式之超净间空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高

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